24-Estación Spin Coater Barrera de revestimiento.
24-Estación Spin Coater Barrera de revestimiento.
Revestimiento de barrera con revestimiento giratorio de 24 estaciones | Reducción de cordones de borde y anticontaminación para líneas de semiconductores EsteRecubrimiento de barrera con recubridor giratorio de 24 estacionesestá formulado para formar uncapa de aislamiento permanente o de sacrificios...
Place of Origin:Porcelana
Brand Name:OSMANUV
Certification:ISO9001
Model Number:Especificación
Minimum Order Quantity:1 juego
Price:Negociable
Product Custom Attributes
Resaltar
Revestimiento de semiconductores con revestimiento de espín de 24 estaciones
,Reducción de las cuentas del borde del revestimiento de giro
,máquina de revestimiento anticontaminación para moldeo de celulosa
Marca inversor:
Schneider
Embalaje:
Caja de madera estándar
Método de alimentación:
Bajo, lateral opcional
Estación de trabajo:
24
Ancho máximo del producto:
500 mm
Versión:
2.0
Dimensión:
Como requisito del cliente
Marca de la frecuencia:
Shilin o Schneider
Product Description
Revestimiento de barrera con revestimiento giratorio de 24 estaciones | Reducción de cordones de borde y anticontaminación para líneas de semiconductores
EsteRecubrimiento de barrera con recubridor giratorio de 24 estacionesestá formulado para formar uncapa de aislamiento permanente o de sacrificiosobre sustratos antes del recubrimiento principal (fotorresistente, poliimida o dieléctrico). Previene la contaminación cruzada, reduce la formación de cordones en los bordes y protege los portabrocas del ataque de solventes.Contenido sólido, sistema solvente y método de extracción personalizablesDisponible para diferentes tamaños de oblea (2″-12″) y capas de dispositivo.
Parámetros técnicos
| Parámetro | Valor / Rango |
|---|---|
| Contenido sólido | 2% - 25% (personalizable) |
| Viscosidad (cP @25°C) | 3 - 150 (ajustable) |
| Densidad (g/cm³) | 0,85 - 1,10 |
| Rango de velocidad de giro | 500 - 6000 rpm (24 estaciones sincronizadas) |
| Espesor de la película (después del centrifugado) | 0,1 - 5,0 μm (ajustable) |
| Temperatura de secado | 80 - 200°C (placa u horno) |
| tiempo de secado | 30 - 180 segundos |
| Contenido de iones metálicos (Na, K, Fe) | < 10 ppb cada uno (grado de alta pureza) |
| Recuento de partículas (≥0,2 μm) | < 30/mL |
| Método de pelado | Tira solvente (NMP, PGMEA) o descomposición térmica |
Aplicaciones
- Procesamiento de obleas semiconductoras(front-end y back-end)
- MEMS y fabricación de sensores
- Recubrimiento por espín de semiconductor compuesto (GaN, SiC)
- Fósforo LED y capa protectora
- Recubridores giratorios de investigación y desarrollo con capacidad de 24 posiciones
- Sustratos personalizados(vidrio, zafiro, metal, películas de polímero)
Personalización
Ofrecemos personalización completa para máquinas de recubrimiento por rotación de 24 estaciones:
- sistema solvente(PGMEA, ciclohexanona, anisol, a base de agua)
- Método de pelado(tira húmeda, incineración o dejar actuar de forma permanente)
- Efecto de reducción del cordón del borde(ángulo de contacto de retroceso personalizable)
- Compatibilidad de tamaño de oblea(2", 4", 6", 8", 12")
- Volumen de lotede 500mL (I+D) a 20L (producción)
- Bajo contenido de metales y partículasgrados disponibles según las especificaciones del cliente
Características
- ✅ Evita la contaminación resistente en el portabrocas y la tapa.
- ✅ Reduce la altura del borde del borde entre un 60 y un 80 %.
- ✅ Compatible con sistemas de dispensación automatizada y EBR
- ✅ No hay residuos posteriores al recubrimiento después de un decapado adecuado
- ✅ Termoestable hasta 200°C (sin desgasificación)
- ✅ Baja densidad de defectos (<0,05 defectos/cm²)
- ✅ Puede usarse comocapa de sacrificiopara procesos de despegue
Soporte y servicios
- Optimización de procesospara su máquina de recubrimiento por rotación de 24 estaciones (velocidad/aceleración/rampa)
- Prueba de residuos gratuitaen su tipo de oblea
- Soporte de instalación en sitio o remoto
- Desarrollo de fórmulas personalizadasdentro de 15 días hábiles
- Ficha de datos de seguridad del material (SDS)+ guía de procesamiento
- Soporte técnico 24 horas al día, 7 días a la semanapara líneas de producción
Embalaje y envío
- Embalaje estándar: Botellas de HDPE de 1L, 4L, 20L (doble bolsa)
- Embalaje personalizado: Tambor de 200 L, IBC de 1000 L o cartuchos de jeringa sellados para dispensación automática
- Envío: Empaquetado para sala blanca, inflamable Clase 3 (si es a base de solvente) o no peligroso (a base de agua)
- plazo de entrega: 5 días para stock, 12-18 días para lotes personalizados
- Almacenamiento: 6-12 meses @15-25°C en envase original sellado
Preguntas frecuentes
P1: ¿Se puede utilizar este recubrimiento de barrera en todas las recubridoras giratorias de 24 estaciones?
R: Sí. El fluido espersonalizablepara diferentes tipos de boquillas (estáticas, de barrido lineal o de pulverización) y diseños de portabrocas giratorios (de vacío o mecánicos). Proporcione su modelo de recubridor para su optimización.
P2: ¿Es permanente o removible?
R: Ambos. La versión estándar esdesprendible(solvente o ceniza). Versión permanente disponible para aplicaciones de capa protectora.
P3: ¿Afectará la adhesión del fotorresistente?
R: No. El revestimiento de barrera está diseñado para eliminarse por completo o para tener una energía superficial equivalente. Se pueden proporcionar pruebas de adherencia.