Sistema de procesamiento láser excimer industrial | Integración flexible de la línea de producción y parámetros totalmente personalizables
Sistema de procesamiento de láser excimer industrial
,línea de producción de láser excimer flexible
,parámetros de máquina de recubrimiento UV personalizables
Este sistema de procesamiento por láser excimer industrial está diseñado para microfabricación de alta precisión, recocido de semiconductores y modelado de películas delgadas. Admite la integración total en líneas de producción automatizadas con monitoreo en tiempo real. El sistema cuenta con una fuente de excímeros sellada con gas con óptica de larga duración y control de procesos asistido por IA.
- Unidad de fuente de láser excimer
- Módulo de homogeneización y conformación del haz
- Etapa de escaneo XY de alta velocidad o unidad de proyección de máscara
- Robot de manipulación de sustratos en línea (ancho de vía personalizable)
- Sistema de gestión de gases de escape y
- PC de control de procesos con administrador de recetas
| Parámetro | Rango de valores (estándar) | Opción de personalización |
|---|---|---|
| Longitud de onda | 193 nm / 248 nm / 308 nm | Longitud de onda múltiple conmutable (personalizada) |
| Energía máxima del pulso | 0,5 - 1200 mJ | Hasta 2000 mJ (personalizado) |
| Frecuencia de pulso | 1 - 6000Hz | Hasta 10 kHz (personalizado) |
| potencia media | 5 - 300W | Escala personalizada disponible |
| Tamaño del haz (salida) | 10×10mm | Viga rectangular hasta 50×50 mm (personalizada) |
| Homogeneidad del haz | < ±3% (σ) | < ±1% (óptica personalizada) |
| Integración de la línea de producción. | SMEMA / SECS / GEM | Protocolo PLC personalizado (personalizado) |
- Recocido de silicio para pantallas avanzadas (LTPS)
- MEMS y corte en cubitos de obleas semiconductoras
- Activación de la superficie del polímero
- Microestructuración de dispositivos médicos.
- Perforación de PCB flexible
Ofrecemospersonalización completade selección de longitud de onda, energía de pulso, tamaño del campo de escaneo, mezcla de gases, método de enfriamiento (aire/agua/enfriador) y protocolo de comunicación de la línea de producción. Brazos de entrega de vigas personalizados y gabinetes de clase 1 también están disponibles a pedido.
- > 2000 horas de vida útil del gas (mezcla de gases optimizada)
- Estabilización de energía incorporada (retroalimentación en tiempo real)
- Diagnóstico remoto y mantenimiento predictivo
- Bajo costo de propiedad (LOO) con modo bypass de ahorro de gas
- Diseño modular compacto para una rápida reconfiguración de la línea
- Soporte técnico 24 horas al día, 7 días a la semana (teléfono/remoto)
- Instalación en sitio e integración de línea de producción
- Formación personalizada para sus ingenieros
- Garantía extendida hasta 5 años.
- Programa de recarga de gas y renovación de ópticas.
- Sellado en un recipiente con control de humedad y amortiguado por golpes.
- Caja óptica sellada al vacío
- Envío vía aérea o marítima con seguimiento en tiempo real
- Las cajas de exportación cumplen con la norma ISPM-15