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Datos del producto:
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| Voltaje: | 220V/380V | Velocidad del transportador: | 25 ~ 80m/min |
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| Potencia del motor principal: | 1,5 kw | Ancho de nivelación efectivo: | 920 mm |
| Material de revestimiento: | Varios materiales | tipo lámpara ultravioleta: | Lámpara de mercurio |
| Error de plegado al rebobinar: | ±0,1 mm | Tipo de secado: | Secado por infrarrojos |
| Resaltar: | Sistema de procesamiento de láser excimer industrial,línea de producción de láser excimer flexible,parámetros de máquina de recubrimiento UV personalizables |
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Este sistema de procesamiento por láser excimer industrial está diseñado para microfabricación de alta precisión, recocido de semiconductores y modelado de películas delgadas. Admite la integración total en líneas de producción automatizadas con monitoreo en tiempo real. El sistema cuenta con una fuente de excímeros sellada con gas con óptica de larga duración y control de procesos asistido por IA.
| Parámetro | Rango de valores (estándar) | Opción de personalización |
|---|---|---|
| Longitud de onda | 193 nm / 248 nm / 308 nm | Longitud de onda múltiple conmutable (personalizada) |
| Energía máxima del pulso | 0,5 - 1200 mJ | Hasta 2000 mJ (personalizado) |
| Frecuencia de pulso | 1 - 6000Hz | Hasta 10 kHz (personalizado) |
| potencia media | 5 - 300W | Escala personalizada disponible |
| Tamaño del haz (salida) | 10×10mm | Viga rectangular hasta 50×50 mm (personalizada) |
| Homogeneidad del haz | < ±3% (σ) | < ±1% (óptica personalizada) |
| Integración de la línea de producción. | SMEMA / SECS / GEM | Protocolo PLC personalizado (personalizado) |
Ofrecemospersonalización completade selección de longitud de onda, energía de pulso, tamaño del campo de escaneo, mezcla de gases, método de enfriamiento (aire/agua/enfriador) y protocolo de comunicación de la línea de producción. Brazos de entrega de vigas personalizados y gabinetes de clase 1 también están disponibles a pedido.
Persona de Contacto: Mr. Zhang guoxin
Teléfono: +86 13926890692
Fax: 86-769-88120350